本项目产品为基于分析仪器行业应用的小型脂润滑复合分子泵，包括FF-63/70、FF-100/300两个型号。所涉及的关键技术主要有： 
     1）涡轮级叶片、牵引级圆盘型螺旋槽气体输运特性分析； 
     2）整体式涡轮转子的强度校核及高速铣削加工工艺； 
     3）高速转子轴系动力学特性分析及减振结构设计； 
     4）高速直流电机及驱动控制系统设计； 
     其中，整体式涡轮转子高速铣削加工、高速直流电机及驱动技术达到国际一流水平。 
     项目产品主要应用于各类质谱分析仪器，为仪器正常工作提供必要的高真空环境，产品主要创新点如下： 
     1）分子泵体积小、转速高，对氦气、氢气等小分子气体有较高的压缩比； 
     2）采用整体复合型涡轮转子，并通过HSM600高速铣加工中心规模化生产，提高产品一致性和可靠性，同时较好的控制成本； 
     3）对高速轴系设计轴向、径向相结合的复合减振方案，保证高速转子稳定运行。 
     产品主要性能指标如下 
     FF-63/70     FF-100/300
     抽速 > 60 L/s > 250 L/s
     极限压力   < 5E-5 Pa  < 3E-5 Pa
     转速 ≥    50700 转/分钟 ≥ 42000 转/分钟 
     振动值  < 0.1um < 0.1um

应用前景： 
     项目产品为脂润滑复合型涡轮分子泵，主要为各类仪器和真空平台提供所需洁净的高真空环境，产品主要应用于质谱分析、表面科学、激光、薄膜沉积、实验室科研等领域。 
     据统计，2010年我国进口分子泵8000多台，其中40%用于各类分析仪器，并以每年20%的速度增长，而该领域分子泵长期被国外厂家垄断。本项目产品目前已实现销售27台，其中部分应用实现了对国外产品的替换。